| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-12-23 持股变动数(万) |
| 杨森茂 | 一般法人 | 399.38 | 4.1600 |  |
| 天水华天科技股份有限公司 | 一般法人 | 261.56 | 2.7200 | |
| 钱方方 | 一般法人 | 88.55 | 0.9200 | |
| 李启明 | 一般法人 | 84.88 | 0.8800 | |
| 招商银行股份有限公司-嘉实竞争力优选混合型证券投资基金 | 基金 | 81.40 | 0.8500 | |
| 深圳哈勃科技投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 80.69 | 0.8400 | |
| 薛建民 | 一般法人 | 69.67 | 0.7300 | |
| 陈青 | 一般法人 | 61.89 | 0.6400 | |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 54.23 | 0.5600 | |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 45.94 | 0.4800 | |