| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 蒋渊 | 一般法人 | 8049.97 | 20.9800 | -599.99 |
| 共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 1520.06 | 3.9600 | 0.00 |
| 陆龙英 | 一般法人 | 950.04 | 2.4800 | -300.00 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 668.43 | 1.7400 |  |
| 吴海华 | 一般法人 | 651.60 | 1.7000 | 0.00 |
| 上海至纯洁净系统科技股份有限公司回购专用证券账户 | 券商 | 455.18 | 1.1900 | 41.79 |
| 国泰佳泰股票专项型养老金产品-招商银行股份有限公司 | 保险 | 383.30 | 1.0000 | 52.65 |
| 上海歆享资产管理有限公司-歆享申享一号私募证券投资基金 | 基金 | 283.64 | 0.7400 | 0.00 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 281.15 | 0.7300 | |
| 国泰基金管理有限公司-社保基金2103组合 | 基金 | 279.30 | 0.7300 | -82.60 |