| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 基金 | 836.96 | 1.9200 |  |
| 高建 | 一般法人 | 753.12 | 1.7300 | |
| 刘俊 | 一般法人 | 684.91 | 1.5700 | |
| 深圳华业天成投资有限公司-湖南华业天成创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 479.85 | 1.1000 | |
| 上海正海资产管理有限公司-无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 448.67 | 1.0300 | |
| 苏州宜行聚珂创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 329.02 | 0.7500 | |
| 中芯聚源私募基金管理(天津)合伙企业(有限合伙)-聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 基金 | 305.53 | 0.7000 | |
| 苏州科技城高创创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 269.20 | 0.6200 | |
| 中金资本运营有限公司-中金佳泰叁期(深圳)私募股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 259.13 | 0.5900 | |
| 中信证券资管-中信银行-中信证券资管珂玛材料员工参与创业板战略配售集合资产管理计划 | 券商 | 229.63 | 0.5300 | |