奥普光电(002338)答投资者问

尊敬的董秘您好，官司的光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？

光栅尺是半导体设备的核心部件之一，理论上可用于半导体加工领域多种设备，但其精度要求取决于整机的技术指标需求。感谢关注。

来源：互动易     答复时间：2025/3/20 15:22:36

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