| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一般法人 | 9935.48 | 41.3978 | -240.00 |
| 广东风华高新科技股份有限公司 | 一般法人 | 1199.00 | 4.9958 | 0.00 |
| 永赢半导体产业智选混合发起A(015967.OF) | 基金 | 950.00 | 3.9583 |  |
| 中国建设银行股份有限公司-易方达国证机器人产业交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 494.06 | 2.0586 | |
| 易方达基金-中央汇金资产管理有限责任公司-易方达基金-汇金资管单一资产管理计划 | 基金 | 299.10 | 1.2463 | 0.00 |
| 沈海彬 | 一般法人 | 261.35 | 1.0890 | 18.10 |
| 国泰基金-上海银行-国泰基金格物2号集合资产管理计划 | 基金 | 255.51 | 1.0646 | 83.20 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 211.98 | 0.8832 | |
| 国泰基金-北京银行-国泰基金瑞吉1号集合资产管理计划 | 基金 | 196.47 | 0.8186 | |
| 金信稳健策略混合(007872.OF) | 基金 | 141.00 | 0.5875 | |