中微公司(688012)董秘问答

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中微公司(688012)董秘问答

中微公司(688012)答投资者问

你好,贵司TSV蚀刻设备是否可以应用于HBM高带宽存储芯片制造过程?

您好,目前中微公司在先进封装领域(包含高宽带存储器HBM工艺)全面布局,包含刻蚀、CVD、PVD、晶圆量检测设备等,且已经发布CCP刻蚀及TSV深硅通孔设备。谢谢您的关注。

来源:e互动     答复时间:2025/6/9 10:30:47

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