| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 招商银行股份有限公司-兴全合润混合型证券投资基金 | 基金 | 339.70 | 3.6100 | 105.96 |
| 深圳国中创业投资管理有限公司-深圳国中中小企业发展私募股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 334.52 | 3.5600 | -95.10 |
| 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 329.24 | 3.5000 | -81.42 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 290.83 | 3.0900 | |
| 北京石溪清流私募基金管理有限公司-合肥石溪产恒集成电路创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 192.94 | 2.0500 | -123.34 |
| 深圳源创力清源创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 181.32 | 1.9300 | 0.00 |
| 深圳市睿通达投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 162.50 | 1.7300 | 0.00 |
| 常州清源天使创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 155.28 | 1.6500 | 0.00 |
| 深圳精智达技术股份有限公司-2025年员工持股计划 | 一般法人 | 142.50 | 1.5200 | |
| 苏州新麟二期创业投资企业(有限合伙) | 一般法人 | 141.92 | 1.5100 | 0.00 |