| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-09-30 持股变动数(万) |
| 北京有研艾斯半导体科技有限公司 | 一般法人 | 38475.00 | 30.7726 |  |
| 株式会社RS Technologies | 一般法人 | 32709.04 | 26.1609 | |
| 中国有研科技集团有限公司 | 一般法人 | 23042.25 | 18.4293 | 0.00 |
| 福建仓元投资有限公司 | 一般法人 | 2821.50 | 2.2567 | |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 1743.05 | 1.3941 | 1010.26 |
| 德州芯利咨询管理中心(有限合伙) | 一般法人 | 1432.00 | 1.1453 | 0.00 |
| 德州芯睿咨询管理中心(有限合伙) | 一般法人 | 856.00 | 0.6846 | 0.00 |
| 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 848.89 | 0.6789 | 1.63 |
| 国新风险投资管理(深圳)有限公司-深圳诺河投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 542.73 | 0.4341 | -334.64 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 430.73 | 0.3445 | 38.97 |