| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-09-30 持股变动数(万) |
| ACM RESEARCH,INC. | 一般法人 | 35769.23 | 74.4937 | 0.00 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 517.62 | 1.0780 | 11.86 |
| 上海浦东新兴产业投资有限公司 | 一般法人 | 461.54 | 0.9612 | 0.00 |
| 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 373.58 | 0.7780 | 61.56 |
| 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 244.21 | 0.5086 | 27.60 |
| 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 218.14 | 0.4543 | 18.30 |
| 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 基金 | 185.20 | 0.3857 | -61.66 |
| 中国工商银行股份有限公司-华泰柏瑞沪深300交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 160.22 | 0.3337 | 7.41 |
| 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 基金 | 115.30 | 0.2401 | -112.18 |
| 中国建设银行股份有限公司-易方达沪深300交易型开放式指数发起式证券投资基金 | 基金 | 113.87 | 0.2371 | 5.30 |