| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 基金 | 5502.67 | 19.5700 | 0.00 |
| 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 基金 | 3788.80 | 13.4800 | 0.00 |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一般法人 | 2051.63 | 7.3000 | 0.00 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 512.05 | 1.8200 | -170.72 |
| 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 508.16 | 1.8100 | -70.87 |
| 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 490.15 | 1.7400 | -289.23 |
| 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 基金 | 428.74 | 1.5200 | -26.14 |
| 诺安成长混合(320007.OF) | 基金 | 428.74 | 1.5327 | -26.14 |
| 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一般法人 | 428.54 | 1.5200 | 0.00 |
| 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 317.57 | 1.1300 | -14.62 |