| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 合肥市创新科技风险投资有限公司 | 一般法人 | 2699.39 | 17.0400 | 0.00 |
| 铜陵市三佳电子(集团)有限责任公司 | 一般法人 | 807.95 | 5.1000 | 0.00 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 136.53 | 0.8600 |  |
| 黄潇骏 | 一般法人 | 66.00 | 0.4200 | -0.90 |
| 冯建霖 | 一般法人 | 62.10 | 0.3900 | |
| 王宗君 | 一般法人 | 60.40 | 0.3800 | 11.11 |
| 薛明红 | 一般法人 | 53.00 | 0.3300 | |
| 刘世良 | 一般法人 | 52.00 | 0.3300 | |
| 陈婉笑 | 一般法人 | 44.25 | 0.2800 | -1.00 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 44.16 | 0.2800 | -6.41 |