| 机构名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占流通股本 比例(%) | 较2025-09-30 持股变动数(万) | 变动 |
| 合计 | 23841.20 | 59.34 | |||
MEMSLink Corporation | 流通受限股份 | 8080.00 | 20.11 | 0.00 | 不变 |
| 安徽北方微电子研究院集团有限公司 | 流通A股 | 5399.64 | 13.44 | -166.02 | 减持 |
| 海南芯动联科投资有限公司 | 流通受限股份 | 5392.00 | 13.42 | 不变 | |
| 宣佩琦 | 流通受限股份 | 1152.00 | 2.87 | 0.00 | 不变 |
| 北方电子研究院有限公司 | 流通A股 | 1095.75 | 2.73 | -42.04 | 减持 |
| 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司-北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 799.73 | 1.99 | 0.00 | 不变 |
| 金晓冬 | 流通受限股份 | 528.00 | 1.31 | 0.00 | 不变 |
| 华亚平 | 流通A股 | 480.00 | 1.19 | 0.00 | 不变 |
| 北京自动化控制设备研究所 | 流通A股 | 457.58 | 1.14 | -242.42 | 减持 |
| 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 456.50 | 1.14 | 1.61 | 增持 |
累计持有：9894.05万股，累计占流通股本比39.54%，较上期变化： -511.87万股 ，占比变化： -2.22%
| 股东名称 | 持有数量 (万股) | 持股变化 (万股) | 占流通股本比例(%) | 占比变化(%) | 股份类型 |
|---|---|---|---|---|---|
| 安徽北方微电子研究院集团有限公司 | 5399.64 | -166.02 | 21.58 | -0.75 | 流通A股 |
| 北方电子研究院有限公司 | 1095.75 | -42.04 | 4.38 | -0.18 | 流通A股 |
| 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 799.73 | 未变 | 3.20 | 未变 | 流通A股 |
| 华亚平 | 480.00 | 未变 | 1.92 | 未变 | 流通A股 |
| 北京自动化控制设备研究所 | 457.58 | -242.42 | 1.83 | -0.98 | 流通A股 |
| 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 456.50 | 1.61 | 1.82 | -0.01 | 流通A股 |
| 林明 | 360.00 | 未变 | 1.44 | 未变 | 流通A股 |
| 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 289.40 | -3.07 | 1.16 | -0.01 | 流通A股 |
| 香港中央结算有限公司 | 283.46 | -11.93 | 1.13 | -0.06 | 流通A股 |
| 倪子涵 | 272.00 | 新进 | 1.09 | 新进 | 流通A股 |
| 较上个报告期退出前十大流通股东有 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 嘉兴鑫汇芯联创业投资合伙企业(有限合伙) | 320.00 | 退出 | 1.28 | A股 |
累计持有：1.04亿股，累计占流通股本比41.76%，较上期变化： -292.74万股 ，占比变化： -1.17%
| 股东名称 | 持有数量 (万股) | 持股变化 (万股) | 占流通股本比例(%) | 占比变化(%) | 股份类型 |
|---|---|---|---|---|---|
| 安徽北方微电子研究院集团有限公司 | 5565.66 | -34.34 | 22.33 | -0.14 | 流通A股 |
| 北方电子研究院有限公司 | 1137.79 | -60.08 | 4.57 | -0.24 | 流通A股 |
| 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 799.73 | 未变 | 3.21 | 未变 | 流通A股 |
| 北京自动化控制设备研究所 | 700.00 | 未变 | 2.81 | 未变 | 流通A股 |
| 华亚平 | 480.00 | -65.62 | 1.93 | -0.26 | 流通A股 |
| 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 454.89 | -20.95 | 1.83 | -0.08 | 流通A股 |
| 林明 | 360.00 | -120.00 | 1.44 | -0.49 | 流通A股 |
| 嘉兴鑫汇芯联创业投资合伙企业(有限合伙) | 320.00 | 未变 | 1.28 | 未变 | 流通A股 |
| 香港中央结算有限公司 | 295.39 | 新进 | 1.19 | 新进 | 流通A股 |
| 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 292.47 | -10.27 | 1.17 | -0.04 | 流通A股 |
| 较上个报告期退出前十大流通股东有 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 季强 | 276.88 | 退出 | 1.11 | A股 |
累计持有：1.07亿股，累计占流通股本比42.93%，较上期变化： -939.30万股 ，占比变化： -4.21%
| 股东名称 | 持有数量 (万股) | 持股变化 (万股) | 占流通股本比例(%) | 占比变化(%) | 股份类型 |
|---|---|---|---|---|---|
| 安徽北方微电子研究院集团有限公司 | 5600.00 | 未变 | 22.47 | 未变 | 流通A股 |
| 北方电子研究院有限公司 | 1197.87 | -801.43 | 4.81 | -3.29 | 流通A股 |
| 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 799.73 | 未变 | 3.21 | 未变 | 流通A股 |
| 北京自动化控制设备研究所 | 700.00 | 未变 | 2.81 | 未变 | 流通A股 |
| 华亚平 | 545.62 | -94.38 | 2.19 | -0.40 | 流通A股 |
| 林明 | 480.00 | 未变 | 1.93 | 未变 | 流通A股 |
| 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 475.84 | 130.18 | 1.91 | 0.51 | 流通A股 |
| 嘉兴鑫汇芯联创业投资合伙企业(有限合伙) | 320.00 | 未变 | 1.28 | 未变 | 流通A股 |
| 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 302.73 | 新进 | 1.21 | 新进 | 流通A股 |
| 季强 | 276.88 | -124.00 | 1.11 | -0.51 | 流通A股 |
| 较上个报告期退出前十大流通股东有 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司－航天京开创业投资(潍坊)合伙企业(有限合伙) | 352.40 | 退出 | 1.43 | A股 |
累计持有：1.16亿股，累计占流通股本比47.14%，较上期变化： -611.09万股 ，占比变化： -2.48%
| 股东名称 | 持有数量 (万股) | 持股变化 (万股) | 占流通股本比例(%) | 占比变化(%) | 股份类型 |
|---|---|---|---|---|---|
| 安徽北方微电子研究院集团有限公司 | 5600.00 | 未变 | 22.68 | 未变 | 流通A股 |
| 北方电子研究院有限公司 | 1999.30 | 未变 | 8.10 | 未变 | 流通A股 |
| 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－福州高新区国兵晟乾成长股权投资合伙企业(有限合伙) | 799.73 | 未变 | 3.24 | 未变 | 流通A股 |
| 北京自动化控制设备研究所 | 700.00 | -257.60 | 2.84 | -1.04 | 流通A股 |
| 华亚平 | 640.00 | 未变 | 2.59 | 未变 | 流通A股 |
| 林明 | 480.00 | 未变 | 1.94 | 未变 | 流通A股 |
| 季强 | 400.88 | 45.66 | 1.62 | 0.18 | 流通A股 |
| 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司－航天京开创业投资(潍坊)合伙企业(有限合伙) | 352.40 | -120.00 | 1.43 | -0.48 | 流通A股 |
| 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 345.66 | 0.24 | 1.40 | 未变 | 流通A股 |
嘉兴鑫汇芯联创业投资合伙企业(有限合伙) | 320.00 | 新进 | 1.30 | 新进 | 流通A股 |
| 较上个报告期退出前十大流通股东有 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 上海宝鼎投资管理有限公司－绍兴宝鼎久磊投资合伙企业(有限合伙) | 599.38 | 退出 | 2.43 | A股 |
累计持有：1.22亿股，累计占流通股本比49.62%，较上期变化： -1517.74万股 ，占比变化： -7.01%
| 股东名称 | 持有数量 (万股) | 持股变化 (万股) | 占流通股本比例(%) | 占比变化(%) | 股份类型 |
|---|---|---|---|---|---|
| 安徽北方微电子研究院集团有限公司 | 5600.00 | 未变 | 22.68 | 未变 | 流通A股 |
| 北方电子研究院有限公司 | 1999.30 | -400.70 | 8.10 | -1.77 | 流通A股 |
| 北京自动化控制设备研究所 | 957.60 | 未变 | 3.88 | 未变 | 流通A股 |
| 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－福州高新区国兵晟乾成长股权投资合伙企业(有限合伙) | 799.73 | 未变 | 3.24 | 未变 | 流通A股 |
| 华亚平 | 640.00 | 未变 | 2.59 | 未变 | 流通A股 |
| 上海宝鼎投资管理有限公司－绍兴宝鼎久磊投资合伙企业(有限合伙) | 599.38 | -400.61 | 2.43 | -1.68 | 流通A股 |
| 林明 | 480.00 | 未变 | 1.94 | 未变 | 流通A股 |
| 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司－航天京开创业投资(潍坊)合伙企业(有限合伙) | 472.40 | -170.00 | 1.91 | -0.73 | 流通A股 |
| 季强 | 355.22 | 新进 | 1.44 | 新进 | 流通A股 |
| 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 345.42 | 新进 | 1.40 | 新进 | 流通A股 |
| 较上个报告期退出前十大流通股东有 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 基本养老保险基金二一零一组合 | 664.30 | 退出 | 2.73 | A股 |
| 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司－上海奎速创业投资合伙企业(有限合伙) | 582.77 | 退出 | 2.40 | A股 |
注：2023-08-27证监会进一步规范股份减持行为：上市公司存在破发、破净情形，或者最近三年未进行现金分红、累计现金分红金额低于最近三年年均净利润30%的，控股股东、实际控制人不得通过二级市场减持本公司股份。控股股东、实际控制人的一致行动人比照上述要求执行；上市公司披露为无控股股东、实际控制人的，第一大股东及其实际控制人比照上述要求执行。