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力合科技:GC - MS设备用于半导体车间空气监测,已实现相关监测功能

时间:2026年02月03日 15:16

投资者提问:

参观中芯国际的半导体制造生产车间,了解到力合科技的GC-MS设备已应用于半导体洁净车间的空气监测,力合科技何时拥有相关半导体洁净车间的技术能力?

董秘回答(力合科技SZ300800):

尊敬的投资者,您好!公司自主研发的LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统,高度集成了VOCs在线富集、GC-MS+FID联用检测、气体发生器、配气仪等仪器和部件,通过创新设计、多平台软件协同工作,可连续监测100余种VOCs组分(包括PAMS57项、TO-15、醛酮类等),实现空气中VOCs组分连续24h定性定量监测。系统目前已应用于半导体车间空气监测。感谢您的关注!

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