投资者提问：

请问公司目前的ald技术路径还是主要采用水蒸气吗？另外一种臭氧路径目前的市场前景如何？有何优势？

董秘回答(微导纳米SH688147)：

尊敬的投资者您好！在ALD设备中，水蒸气与臭氧均可作为氧源。公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。感谢您的关注！