本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“晶圆缺陷检测装置及方法”的专利，公开号CN121075943A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆缺陷检测装置及方法。该装置包括照明系统、运动平台、探测系统和信号处理系统。照明系统向晶圆表面提供至少三个不同入射方向的照明光束并形成重合的线状照明光斑；运动平台驱动晶圆进行线扫描；探测系统包括多个光轴共面的探测通道，收集散射光并转换为电信号，多个探测通道包括光轴与晶圆法线的夹角较大的大角度探测通道、光轴与晶圆法线的夹角较小的小角度探测通道，至少一个探测通道和至少一个照明光束分处于晶圆法线的两侧；信号处理系统处理电信号确定缺陷信息。本发明通过配置特定角度的大、小角度探测通道与特定方向的照明光束协同工作，实现对球形、类球形、扁平污染物和损伤缺陷等全类型的高灵敏度检测，避免漏检。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目268次，财产线索方面有商标信息255条，专利信息1058条，此外企业还拥有行政许可40个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。