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国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“载片舟承载电离装置和载片舟清洗设备”的专利,公开号CN121060895A,申请日期为2024年6月。专利摘要显示,本发明提供一种载片舟承载电离装置和载片舟清洗设备,该装置包括多个第一电极页,多个第一电极页沿第二方向相对,且间隔排布;多个第一电极页用于与射频电源电连接,且各相邻的两个第一电极页所连接的射频电源的电极极性相反;多个第一电极页共同构成有沿第一方向依次设置的电离区和装载区,装载区用于容置载片舟。本发明方案不仅可以解决现有技术中湿法清洗存在清洗效率低、酸碱废水处理难度大的问题,而且还可以提高清洗效率和清洗均匀性。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1280次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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