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国家知识产权局信息显示,杭州长川科技股份有限公司取得一项名为“承载装置”的专利,授权公告号CN 223624966 U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆测试技术领域,具体公开了一种承载装置,该承载装置包括承载盘、加热件、控制器和若干个第一温度检测件。其中,承载盘具有相对设置的第一端面和第二端面,第一端面用于承载晶圆;加热件设于承载盘的第二端面,且加热件具有若干个相互独立的加热部;第一温度检测件设于承载盘内部,且其检测部能穿出第一端面,以抵接晶圆并检测晶圆的温度,各个第一温度检测件与各个加热部一一对应布置;控制器与各个第一温度检测件通讯连接,且与各个加热部通讯连接。上述设置能分别控制各个加热部进行升温或降温,从而达到承载盘的各处的温度保持一致,最终使得晶圆各处的温度均匀,保证了对晶圆测试结果的准确性。
天眼查资料显示,杭州长川科技股份有限公司,成立于2008年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本60432.8728万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州长川科技股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目116次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息1166条,此外企业还拥有行政许可79个。
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