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国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“液态源瓶及液态源瓶的控制方法”的专利,公开号CN121065665A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本申请提供了一种液态源瓶及液态源瓶的控制方法;液态源瓶包括:瓶体、具有敞口的内胆以及控制器;内胆可活动地固定于瓶体内,且内胆将瓶体内的空间分割成彼此独立的第一空间和第二空间,内胆的内侧与瓶体之间形成第一空间,内胆的外侧与瓶体之间形成第二空间;第一空间用于存放液态源和气态源;第二空间用于存储压缩气体,以支撑内胆;控制器用于控制第二空间中压缩气体的存储量,使得第一空间的大小随着第二空间的大小发生变化而变化,气态源的水平高度随着第一空间的大小发生变化而处于预设高度范围内。如此,在源持续消耗的过程中,气态源的容积保持不变,进而确保了化学沉积的均匀性和稳定性,提升了工艺表现。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1280次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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