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国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法”的专利，公开号CN121049293A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供的一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法，通过设置于信号光被接收至成像单元的光路中的成像数值孔径调节装置根据待检测晶圆边缘上的感兴趣区域调整成像数值孔径，以实现成像景深的调整，该技术方案通过引入可调节的孔径装置，通过孔径装置控制成像数值孔径，利用成像数值孔径主要决定极限分辨率与景深的物理原理，将传统光学系统中固定的数值孔径变为一个可动态优化的变量，通过简单的机械调节实现了复杂的性能切换，可以根据检测要求实现高分辨率检测或者大景深扫描，增强光学系统的应用范围和适应性。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目268次，财产线索方面有商标信息255条，专利信息1057条，此外企业还拥有行政许可40个。

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