消息面上，3月19日，两大晶圆代工企业台积电和三星电子已对AI芯片主力先进制程5/4nm涨价。在台积电方面，其5/4nm、3nm、2nm节点产能将持续满载，这些工艺的代工价格已全面调涨；而三星晶圆代工的5/4nm订单规模也明显增加，因此也在2025年Q4向客户发布了涨价通知。

广发证券认为，随着硅片价格续涨，8寸晶圆供需缺口放大，导致代工厂集体涨价，供需紧张带来了下游扩产积极，景气程度有望向设备端传导。

截至2026年3月20日 11:02，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.77%，成分股拓荆科技上涨5.03%，金宏气体上涨3.96%，华峰测控上涨2.33%，中科飞测上涨2.32%，华海清科上涨2.09%。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨0.62%，最新价报1.3元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年2月27日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比73.19%。