证券日报网3月11日讯 ，恒运昌在接受调研者提问时表示，历经十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局，填补国内空白。公司目前也启动了包括质量流量计在内的其他半导体设备核心零部件国产化研发工作。与此同时，公司持续加强供应链的国产化，自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiCMOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用。公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持续推进元器件的全面国产化验证工作。

（编辑 袁冠琳）