证券日报网3月11日讯 ，恒运昌在接受调研者提问时表示，公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。公司的等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节，直接决定设备工艺能力、产品良率。历经十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局，填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前处于验证阶段。

（编辑 袁冠琳）