检测设备：精测电子(64.10 +1.42%,诊股)、长川科技(29.25 +1.63%,诊股)、华峰测控(249.83 +5.64%,诊股);

　　清洗设备：至纯科技(39.70 +0.58%,诊股)、芯源微(125.48 -0.50%,诊股);

　　大硅片：中环股份(17.18 -3.32%,诊股)、立昂微电;

　　靶材:江丰电子(65.35 +5.40%,诊股)、有研新材(15.75 +1.94%,诊股)、阿石创(40.22 +4.20%,诊股)、隆华科技(7.61 +1.87%,诊股);

　　光模块：新易盛(58.83 +2.24%,诊股)、天孚通信(46.40 +2.32%,诊股)、光迅科技(31.32 +1.99%,诊股)、光库科技(35.65 +2.59%,诊股)、华工科技(21.85 -1.40%,诊股)。

　　短期有修复需求。预计周四指数延续震荡走势。