英诺激光，光刻机光源技术突破：公司已实现深紫外（DUV）光源规模化接单，主要应用于28nm制程光刻机，子公司开发的深紫外激光器已进入芯片制造领域，成为上海微电子等国内光刻机厂商的核心供应商。