中科飞测在无图形/有图形晶圆表面缺陷检测（如明场、暗场检测）领域处于国内顶尖地位。它主要解决的是“晶圆脏不脏、有没有划痕、有没有灰尘”的问题，这是它的看家本领。
精测电子（特别是其子公司上海精测）的核心护城河在 OCD（光学关键尺寸量测） 和 膜厚量测仪。它解决的是“芯片刻出来的槽够不够深、膜够不够厚、尺寸准不准”的问题。
精测电子还拥有国内非常罕见的电子束（E-beam）检测技术，这是中科飞测目前尚未大规模覆盖的领域。

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