矽电股份(SZ301629) 科普贴！
探针台是半导体制造中用于晶圆测试的关键设备，主要功能是连接晶圆上的芯片与测试机，实现电信号的传输和检测。以下是其核心要点的通俗解析：
一、核心作用：给芯片“体检”的“操作台”
- 测试环节刚需：在晶圆制造完成后（尚未切割成独立芯片前），需通过探针台让探针针尖接触芯片表面的焊盘（Pad），连接测试机来检测芯片功能是否正常（如电路导通、性能参数等）。
- 形象类比：类似医生用“听诊器”给病人做检查，探针台的探针就是“听诊器”，测试机则是“诊断系统”，能快速筛选出不合格的芯片，避免后续封装浪费成本。
二、关键结构与工作原理
1. 核心部件：
- 探针卡：安装探针的支架，针尖直径仅几微米（比头发丝还细），需精准对准芯片焊盘；
- 运动平台：控制探针卡上下、左右移动，精度达微米级（如±1μm，相当于人类头发丝直径的1/60）；
- 视觉系统：通过显微镜摄像头辅助定位，确保探针准确接触目标位置。
2. 工作流程：
- 晶圆固定在载物台上 → 视觉系统定位芯片焊盘 → 探针卡下降，针尖接触焊盘 → 测试机发送电信号检测 → 合格/不合格芯片标记（如喷墨或打点）。
三、分类与应用场景
- 按尺寸分类：
- 4英寸、6英寸、8英寸、12英寸探针台（对应不同规格晶圆），目前12英寸（用于高端芯片）技术门槛最高，主要被日本企业垄断。
- 按用途分类：
- 晶圆探针台：用于整片晶圆测试，常见于逻辑芯片、存储芯片；
- 晶粒探针台：用于切割后的单个芯片（晶粒）测试，多用于Mini/Micro LED、功率器件等。
四、行业现状：国产替代正加速
- 全球格局：日本东京电子（TEL）、东京精密（Advantest）占据全球超70%市场份额，高端产品（如12英寸高精度探针台）几乎垄断。
- 国产进展：
- 矽电股份（301629）是国内龙头，12英寸探针台精度达±1.3μm，在LED芯片领域市占率超70%；
- 长川科技（300604）等企业布局中低端市场，主打8英寸及以下产品，价格较进口设备低30%-50%。
五、为什么重要？——半导体产业链的“质检关卡”
- 降本关键：若不经过晶圆测试直接封装，一旦芯片不合格，损失会从“单个芯片”扩大到“封装+测试”的全流程成本；
- 技术壁垒高：高精度探针台涉及机械、光学、电子等多学科融合，研发周期长达5-10年，是半导体设备中国产化率较低的领域之一（2024年约20%），但政策与市场需求正推动国产替代加速。
如果想进一步了解某类探针台或相关企业，可以随时问我哦~