#股票[超话]# 等离子体刻蚀设备是除光刻机以外最关键的微观加工设备，是制程步骤最多、工艺过程开发难度最高的设备。

万业企业旗下子公司凯世通是新凯来的离子注入机供应商，其向新凯来供应2838/2839/2851系列离子注入机、51系列半导体CV特性分析仪及2090系列高阻计，用于新凯来自研半导体设备的检测环节，新凯来在大束流及功率半导体测试中需使用凯世通设备进行工艺验证。此外，万业企业还为新凯来提供RTP（快速热处理）、DPN（扩散预清洗）设备的关键零部件。从资本层面来看，万业企业通过控股上海凯世通半导体，与新凯来形成历史资本绑定，凯世通最初由新凯来参与投资，双方技术渊源深厚。