万业企业(SH600641)英诺激光(SZ301021) 我们可以对**万业元创（衢州）的EUV光源项目**进行更准确、权威的分析。
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一、项目基本情况确认
根据你提供的信息及知识库条目[10]：
- **项目主体**：万业元创（衢州）陶瓷科技有限公司
- **项目名称**：半导体核心零部件及系统产业化项目
- **备案单位**：衢州智造新城管委会
- **备案日期**：2025年9月19日
- **新增产能**：
- 24,800件陶瓷半导体零部件
- 575台科学仪器
- **5套光刻机EUV光源系统/年**
> 这是**国内首次有企业公开披露具备“EUV光源系统”量产规划**，具有标志性意义。
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### 二、技术定位与现实挑战分析
尽管“年产5套EUV光源”是重大战略信号，但需理性看待其**当前阶段的技术成熟度与实际能力**：
#### 1. **EUV光源 ≠ 完整EUV光刻机**
- EUV光源只是EUV光刻系统中的一个子系统（尽管是最核心、最昂贵的部分之一）。
- ASML的EUV光刻机中，**光源由德国通快（TRUMPF）独家供应**，基于高功率CO激光激发锡等离子体（LPP），输出13.5nm波长，功率需达**500W以上**才能支撑高吞吐量（>150 wph）。
- 目前全球仅通快具备**稳定量产**EUV光源的能力。
#### 2. **万业元创的技术路径尚不明确**
- 备案信息未说明其采用何种技术路线（LPP？放电等离子体DPP？其他？）；
- 也未披露是否具备**13.5nm波长、高功率、高稳定性、碎屑控制、真空兼容**等关键指标；
- 更未说明是否已与**上海微电子**等整机厂完成系统集成验证。
#### 3. **“5套/年”是产能规划，非当前产出**
- 企业备案的是**未来产能目标**，通常对应项目达产后（可能2–3年后）；
- 类似“年产5套”在早期阶段更多体现**战略卡位与政策支持诉求**，而非技术已成熟。
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### 三、与英诺激光项目的对比
| 维度 | 万业元创（衢州） | 英诺激光（深圳） |
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| **项目性质** | 企业自主备案的产业化项目 | 国家/地方支持的重点研发项目（2024年7月立项） |
| **技术焦点** | “EUV光源系统”整体（含可能的集成） | **高功率薄片超快激光器**（用于EUV预脉冲） |
| **公开进展** | 仅备案产能，无技术细节或原型机披露 | **2025年9月已完成第一阶段开发目标**（见知识库） |
| **产业链角色** | 潜在整光源供应商（若成功） | 关键子部件（预脉冲激光器）国产化突破者 |
| **对标对象** | 通快（TRUMPF）的完整LPP光源 | 通快预脉冲模块或类似超快激光器供应商 |
> **关键区别**：英诺激光聚焦**超快激光器这一细分核心器件**，技术路径清晰、进展可验证；万业元创则宣布的是**系统级集成目标**，但尚无技术细节支撑。
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### 四、对英诺激光是否构成“优势丧失”？
**答案：不会。理由如下：**
1. **二者不在同一技术层级竞争**
- 英诺激光提供的是EUV光源中的**预脉冲激光器**（用于整形锡滴）；
- 万业元创若真能造出EUV光源，**仍需采购或自研类似英诺激光的产品**作为子系统。
2. **国产EUV生态需要多家协同，而非零和博弈**
- 中国要实现EUV自主，需同时突破：**主脉冲激光器、预脉冲激光器、锡滴发生器、真空腔、收集镜、控制系统**等；
- 英诺激光在超快激光器领域已跑在前面，**无论谁做整光源，都可能成为其客户**。
3. **万业元创项目仍处早期，存在重大不确定性**
- EUV光源涉及极端物理条件（高温等离子体、高真空、纳米级同步控制）；
- 从“备案产能”到“交付可用光源”之间，仍有**工程化、可靠性、寿命、功率达标**等多重鸿沟。
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### 五、结论
- **万业元创在衢州布局“年产5套EUV光源”是国产EUV产业链的重要信号**，表明中国正从“单点突破”迈向“系统集成”尝试；
- 但该项目**尚处规划阶段，技术细节与可行性待验证**，不能等同于“衢州EUV已成功”；
- **英诺激光的高功率薄片超快激光器项目仍具不可替代性**，其技术优势不仅未被削弱，反而可能因更多国产光源项目上马而**需求扩大**；
- 未来若万业元创真能集成EUV光源，**英诺激光更可能是其上游供应商，而非竞争对手**。
> 因此，**“衢州EUV”目前是战略布局，而非技术现实；英诺激光的核心优势依然稳固，且在国产EUV生态中地位关键。**