中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票持续督导保荐总结报告书

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号）核准并经上海证券交易所同意，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）获准于2022年6月向特定对象发行人民币普通股股票8,045,699股，每股面值1元，发行价格为人民币124.29元/股，募集资金总额为人民币999,999,928.71元，扣除不含税的发行费用人民币9,915,093.67元，实际募集资金净额为人民币990,084,835.04元。中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）担任公司2021年度向特定对象发行A股股票并持续督导的保荐机构，负责芯源微的持续督导工作，持续督导期至2024年12月31日止，截至目前，前述持续督导期限已届满。

截至2024年12月31日，公司2021年度向特定对象发行A股股票的募集资金尚未使用完毕，中金公司将对其剩余募集资金使用情况继续履行持续督导义务。

中金公司根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关法律法规和规范性文件的要求，出具本持续督导保荐总结报告书。

一、保荐机构及保荐代表人承诺

1、保荐总结报告书和证明文件及其相关资料的内容不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，保荐机构及保荐代表人对其真实性、准确性、完整性承担法律责任。

2、本机构及本人自愿接受中国证监会对保荐总结报告书相关事项进行的任

何质询和调查。

3、本机构及本人自愿接受中国证监会按照《证券发行上市保荐业务管理办法》的有关规定采取的监管措施。

二、保荐机构基本情况

三、上市公司的基本情况

四、保荐工作概述

持续督导期内，保荐机构及保荐代表人严格按照《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，持续督导公司履行规范运作、信守承诺、信息披露等义务，包括但不限于：

1、督导公司及其董事、监事、高级管理人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交易所发布的业务规则及其他规范性文件，并切实履行其所作出的各项承诺；

2、督导公司的股东大会、董事会、监事会召开程序及相关信息披露；

3、督导公司规范运作，关注公司内部控制制度建设和内部控制运行情况；

4、督导公司履行信息披露义务，审阅信息披露文件及向中国证监会、上海证券交易所提交的其他文件，并有充分理由确信公司提交的文件不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏；

5、督导公司募集资金使用；

6、督导公司有效执行并完善保证关联交易公允性和合规性的制度；持续关注上市公司为他人提供担保等事项；

7、定期或不定期对公司进行现场检查，及时向上海证券交易所报送持续督导现场检查报告、持续督导跟踪报告等相关文件。

五、履行保荐职责期间发生的重大事项及处理情况

（一）募投项目先期投入及置换情况

在2021年度向特定对象发行A股股票募集资金到位前，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为31,738,839.36元，其中对“上海临港研发及产业化”募集资金项目累计投入31,738,839.36元。

公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31,738,839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2022]110Z0153号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目

的鉴证报告》。截至2022年12月31日，上述自筹资金31,738,839.36元已用募集资金置换完毕。

（二）对闲置募集资金进行现金管理情况

公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。公司于2023年6月9日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过50,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过30,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

（三）募集资金使用的其他情况

公司于2023年4月17日召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更符合公司经营发展的需要，能够促进募集资金投资项目顺利实施，未实质改变募集资金的投资方向及内容，

不会对募集资金投资项目产生实质性影响，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形。

公司于2024年10月22日召开第二届董事会第二十六次会议及第二届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，综合考虑当前募投项目的实施进度等因素，公司决定对“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目达到预定可使用状态的日期调整至2026年12月8日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。

六、对上市公司配合保荐工作情况的说明及评价

在持续督导期间，公司能够根据有关法律、法规及规则的要求规范运作，并按有关法律、法规及规则的要求，及时、准确地进行信息披露；重要事项公司能够及时通知保荐机构并与保荐机构沟通，应保荐机构的要求提供相关文件，并积极配合保荐机构的现场检查等督导工作。

七、对证券服务机构参与证券发行上市相关工作情况的说明及评价

在持续督导阶段，公司聘请的其他证券服务机构能够尽职开展证券发行上市的相关工作，按照有关法律法规及时出具相关报告，提供专业、独立的意见和建议，并积极配合保荐机构的协调、核查及持续督导相关工作。

八、对上市公司信息披露审阅的结论性意见

在持续督导期间，公司的信息披露工作符合《上市公司信息披露管理办法》等相关规定，依法公开对外发布各类公告，确保各项重大信息披露及时、真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏的情形。

九、对上市公司募集资金使用审阅的结论性意见

经核查，本保荐机构认为：公司持续督导期内的募集资金存放与使用情况

符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规的要求，并及时履行了相关信息披露义务。截至2024年12月31日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。

十、中国证监会、上海证券交易所要求的其他事项

截至本持续督导保荐总结报告书出具日，公司2021年度向特定对象发行A股股票尚有部分募集资金未使用完毕，保荐机构将就其募集资金使用情况继续履行持续督导的责任。（以下无正文）