核查意见烟台睿创微纳技术股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）等相关法律、法规及规范性文件和《烟台睿创微纳技术股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定对公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期、预留授予部分第三个归属期及2022年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期、预留授予部分第一个归属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：

2020年限制性股票激励计划除8名首次授予部分、3名预留授予部分激励对象离职已不在公司任职不符合归属条件，1名首次授予部分激励对象绩效考核评估结果为“D”不满足归属条件外，本激励计划首次授予部分第四个归属期及预留授予部分第三个归属期合计118名激励对象（其中首次授予部分91名，预留授予部分27名）符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本激励计划规定的激励对象范围，其作为本激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的首次授予部分第四个归属期及预留授予部分第三个归属期归属条件已成就。监事会同意本次符合条件的118名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量合计为

105.4748万股。上述事项均符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

2022年限制性股票激励计划除7名首次授予部分、3名预留授予部分激励对象离职已不在公司任职不符合归属条件外，本激励计划首次授予部分第二个归属

期及预留授予部分第一个归属期合计145名激励对象（其中首次授予部分106名，预留授予部分39名）符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本激励计划规定的激励对象范围，其作为本激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期归属条件已成就。监事会同意本次符合条件的145名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量合计为427.7277万股。上述事项均符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

烟台睿创微纳技术股份有限公司监事会

2025年4月11日